[实用新型]一种电子加速器的束流品质测量装置有效
| 申请号： | 201721859950.5 | 申请日： | 2017-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN207650406U | 公开（公告）日： | 2018-07-24 |
| 发明（设计）人： | 任杰;陈立 | 申请（专利权）人： | 中山易必固新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | G01T1/29 | 分类号： | G01T1/29 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 何锦明 |
| 地址： | 528400 广东省中山市火炬开发区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种电子加速器的束流品质测量装置，包括：法拉第筒检测装置及在线束流流强探测装置，所述法拉第筒检测装置包括：网状框架、设置在网状框架上的钛箔、设置在网状框架下方的狭缝状法拉第筒及与狭缝状法拉第筒连接的数据采集系统，在线束流流强探测装置包括一探测器及能够带动探测器移动穿过电子束穿过区域的驱动装置，驱动装置能够将探测器的位置信息反馈至数据采集系统，所述探测器能够检测到的电子束的流强线密度并反馈至数据采集系统。本实用新型可通过法拉第筒检测装置及在线束流流强探测装置分别完成束流流强测量检测和在线束流分布测量，可以测量束流的分布情况、真实引出流强大小、以及引出效率，具高的通用性。 | ||
| 搜索关键词： | 束流 法拉第筒 数据采集系统 检测装置 探测装置 网状框架 探测器 电子束 品质测量装置 本实用新型 电子加速器 驱动装置 狭缝状 位置信息反馈 探测器移动 穿过 测量检测 分布测量 钛箔 测量 反馈 检测 | ||
【主权项】：
1.一种电子加速器的束流品质测量装置，其特征在于，包括：法拉第筒检测装置，所述法拉第筒检测装置包括：网状框架(3)、设置在网状框架(3)上的钛箔(2)、设置在网状框架(3)下方的狭缝状法拉第筒(9)及与狭缝状法拉第筒(9)连接的数据采集系统(15)，电子束能够从网状框架(3)经网状框架(3)的缝隙中穿过钛箔(2)，所述狭缝状法拉第筒(9)能够检测穿过钛箔(2)的电子束的流强线密度，并将电子束的流强线密度数据反馈至数据采集系统(15)；在线束流流强探测装置，所述在线束流流强探测装置包括一设置在网状框架(3)下方的探测器(7)及能够带动探测器(7)移动穿过电子束穿过区域的驱动装置，所述探测器(7)与驱动装置与数据采集系统(15)连接，所述驱动装置能够将探测器(7)的位置信息反馈至数据采集系统(15)，所述探测器(7)能够检测到其所在位置的电子束的流强线密度并将该电子束的流强线密度信息反馈至数据采集系统(15)。
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