[实用新型]一种用于单晶硅的高效生产设备有效
| 申请号： | 201721864623.9 | 申请日： | 2017-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN207891456U | 公开（公告）日： | 2018-09-21 |
| 发明（设计）人： | 刘彬国;李德建;李红友;杨伟强;黄旭光;李朝阳 | 申请（专利权）人： | 邢台晶龙新能源有限责任公司 |
| 主分类号： | C30B15/12 | 分类号： | C30B15/12;C30B15/16;C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 石家庄元汇专利代理事务所(特殊普通合伙) 13115 | 代理人： | 张建茹 |
| 地址： | 054000 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于单晶硅的高效生产设备，该生产设备包括单晶炉及用于单晶炉的加热系统，单晶炉内部设置有用于承载硅液的石英坩埚，加热系统包括微波发生装置和微波传输机构，微波传输机构为带有防微波抽真空回路的不锈钢管道，微波发生装置的输出端借助不锈钢管道与单晶炉相连并进行微波输送，所述单晶炉中设置有用于支撑石英坩埚升降旋转的石墨埚杆，石英坩埚外部设置有石墨坩埚，单晶炉内部由上到下依次设置有石英导流筒、带有钼质反射板的石墨保温桶、带有钼质反射板的石墨支撑块、圆筒形的保温毡、石英保温桶、排气孔及微波防护网以及带有钼质反射板的成型炉底；该设备利用微波加热进行拉晶，送温快，生产效率和产量均有显著提高。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶炉 石英坩埚 反射板 钼质 微波发生装置 单晶硅 不锈钢管道 高效生产 加热系统 微波传输 本实用新型 抽真空回路 石墨保温桶 石英保温桶 微波防护网 内部设置 设备利用 生产设备 生产效率 石墨坩埚 石墨埚杆 外部设置 微波加热 微波输送 依次设置 由上到下 保温毡 成型炉 导流筒 排气孔 输出端 圆筒形 石墨 硅液 拉晶 石英 支撑 升降 微波 承载 | ||
【主权项】：
1.一种用于单晶硅的高效生产设备，该生产设备包括单晶炉(11)及用于单晶炉(11)的加热系统，单晶炉(11)内部设置有用于承载硅液的石英坩埚(10)，其特征在于：所述的加热系统包括微波发生装置(13)和微波传输机构，微波传输机构为带有防微波抽真空回路(17)的不锈钢管道(12)，微波发生装置(13)的输出端借助不锈钢管道(12)与单晶炉(11)相连并进行微波输送，所述单晶炉(11)中设置有用于支撑石英坩埚(10)升降旋转的石墨埚杆(8)。
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