[实用新型]一种用于三维曲面的纳米级压印装置有效

专利信息
申请号: 201721866517.4 申请日: 2017-12-27
公开(公告)号: CN207663209U 公开(公告)日: 2018-07-27
发明(设计)人: 冀然 申请(专利权)人: 青岛天仁微纳科技有限责任公司
主分类号: G03F7/00 分类号: G03F7/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 266000 山东省青岛市城阳区长城*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 实用新型提供了一种用于三维曲面的纳米级压印装置,涉及纳米级压印。所述纳米级压印装置包括:母模板,其顶部形成有设定凹凸形状;基底,其顶部形成有被压印三维曲面;PDMS胶层,其底面与所述母模板顶部固化后覆盖于所述被压印三维曲面;保持机构,通过与覆盖于所述被压印三维曲面的所述PDMS胶层对接固化,使所述PDMS胶层底面固化为将所述设定凹凸形状压印于所述被压印三维曲面上的压印模具。使PDMS胶层固化为将设定凹凸形状压印于被压印三维曲面上的压印模具。从而实现将设定凹凸形状压印在被压印三维曲面上,也就是实现在曲面基底上微结构的压印。
搜索关键词: 压印 三维 凹凸形状 纳米级 胶层 压印装置 三维曲面 压印模具 母模板 底面 基底 固化 本实用新型 微结构 覆盖
【主权项】:
1.一种用于三维曲面的纳米级压印装置,其特征在于,包括:母模板,其顶部形成有设定凹凸形状;基底,其顶部形成有被压印三维曲面;PDMS胶层,其底面形成有与所述设定凹凸形状相配合的形状,所述PDMS胶层的底面覆盖于所述被压印三维曲面;以及保持机构,通过与所述PDMS胶层对接固化,以形成为将所述设定凹凸形状压印于所述被压印三维曲面的压印模具。
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