[实用新型]一种手动探针台的载片台装置有效
| 申请号： | 201721872702.4 | 申请日： | 2017-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN207780071U | 公开（公告）日： | 2018-08-28 |
| 发明（设计）人： | 吉仁文 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04;G01R31/28 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种手动探针台的载片台装置，包括载片台上表面及侧面、气体孔、凸起部及收容部；通过收容部为手动吸笔提供容置空间，晶圆在转移及定位过程中，避免了人为因素对晶圆产生的污染，提高了晶圆测试结果精准度，同时，减少了晶圆定位时间，提高了生产效率；通过凸起部，对位于载片台上的晶圆起到限位阻挡作用，从而避免晶圆从载片台的上表面滑落，造成碎片。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆 载片台 手动探针台 凸起部 载片 收容 本实用新型 定位过程 晶圆测试 晶圆定位 人为因素 容置空间 生产效率 精准度 上表面 滑落 吸笔 限位 阻挡 侧面 污染 | ||
【主权项】：
1.一种手动探针台的载片台装置，其特征在于，包括：载片台，所述载片台具有上表面及侧面，所述上表面用于放置晶圆，所述上表面设有气体孔；凸起部，凸设于所述上表面的周缘；收容部，包含自所述载片台的所述侧面向所述载片台中心方向延伸的凹槽，所述凹槽的形状与所述手动吸笔相匹配，以为所述手动吸笔提供容置空间。
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