[实用新型]引出阳离子束的灯丝气体离子源装置有效
| 申请号： | 201721873529.X | 申请日： | 2017-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN208111393U | 公开（公告）日： | 2018-11-16 |
| 发明（设计）人： | 苏东艺;彭继华 | 申请（专利权）人： | 广州今泰科技股份有限公司;华南理工大学 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/317 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 黄华莲;郝传鑫 |
| 地址： | 510070 广东省广州市经济技*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及离子源设备技术领域，具体涉及了一种引出阳离子束的灯丝气体离子源装置，包括第一离化筒、第二离化筒和电源装置，第一离化筒的一端设有第一进气口且第一离化筒的另一端设有第一逸出口，第一离化筒的外侧壁上缠绕有第一线圈，第二离化筒的一端与第一逸出口连通，第二离化筒的另一端设有第二逸出口，第一离化筒内设有灯丝组件，第二离化筒的外侧壁上缠绕有第二线圈；第二离化筒的侧壁与电源装置的正极电连接，第一离化筒和第二离化筒绝缘。本实用新型能够提高气体离化效率并避免杂质原子污染被加工工件，还能引出更纯的阳离子束。 | ||
| 搜索关键词： | 离化 阳离子 气体离子源装置 本实用新型 电源装置 外侧壁 灯丝 缠绕 进气口 出口 被加工工件 离子源设备 灯丝组件 杂质原子 正极电 侧壁 绝缘 连通 污染 | ||
【主权项】：
1.一种引出阳离子束的灯丝气体离子源装置，其特征在于，包括第一离化筒、第二离化筒和电源装置，所述第一离化筒的一端设有第一进气口且所述第一离化筒的另一端设有第一逸出口，所述第一离化筒的外侧壁上缠绕有第一线圈，所述第二离化筒的一端与所述第一逸出口连通，所述第二离化筒的另一端设有第二逸出口，所述第一离化筒内设有灯丝组件，所述第二离化筒的外侧壁上缠绕有第二线圈；所述第二离化筒的侧壁与所述电源装置的正极电连接，所述第一离化筒和第二离化筒绝缘，所述第一离化筒和第二离化筒的中心线重合。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广州今泰科技股份有限公司;华南理工大学，未经广州今泰科技股份有限公司;华南理工大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201721873529.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种电子枪负高压散热装置
- 下一篇：等离子体灯丝气体离子源装置
