[实用新型]一种能精确控制入射角的分光镜测量装置

摘要

为了解决传统分光镜分光比和反射透射率测量方法光路复杂、误差大的技术问题，本实用新型提供了一种能精确控制入射角的分光镜测量装置。本实用新型基于分光镜对部分光反射的特性，利用小孔光阑、五棱镜以及第二平面反射镜自准的方法，降低了测量光路的误差；利用自准直光管垂直入射的方法解决了对45°入射角度基准的标定；利用自准直光管的角度检测功能实现了对分光镜入射角小角度变化的精确控制，当自准直光管精度为1"时，入射角度控制精度可达到0.5"量级。

主权项

1.能精确控制入射角的分光镜测量装置，其特征在于：包括可调谐激光器(1)、准直镜(2)、小孔光阑、第一平面反射镜(4)、转台(5)、五棱镜(6)、第二平面反射镜(8)、自准直光管(9)、第一激光功率计(10)、第二激光功率计(11)；所述小孔光阑的中心孔直径D＝0.1～1mm；所述测量装置还包括可调光阑(12)或者口径小于待测分光镜(7)口径且不拦光的不可调光阑；所述可调谐激光器(1)、小孔光阑、准直镜(2)、第一平面反射镜(4)依次设置；所述转台(5)设置在所述第一平面反射镜(4)的反射光路上；所述转台(5)带有六自由度调节装置；所述转台(5)用于固定放置所述五棱镜(6)或者待测分光镜(7)；所述五棱镜(6)、第二平面反射镜(8)和小孔光阑用于90°光路自准，测量时均被移除；90°光路自准时所述五棱镜(6)通过所述调节装置设置在所述转台(5)上，所述第二平面反射镜(8)设置在所述五棱镜(6)的出射光路上；所述自准直光管(9)用于标定待测分光镜(7)的45°基准以及进行45°基准角度监测；测量时，所述小孔光阑被所述可调光阑(12)或者口径小于待测分光镜(7)口径且不拦光的不可调光阑替换，所述第二平面反射镜(8)被所述第一激光功率计(10)替换；所述第一激光功率计(10)位于待测分光镜(7)的反射光路上；所述第二激光功率计(11)设置在待测分光镜(7)的透射光路上，与所述第一激光功率计(10)等光程设置。