[实用新型]一种光束微动调整装置

摘要

本实用新型提供了一种光束微动调整装置，其包括第一摆镜模块和第二摆镜模块，在光束沿Z向入射穿过镜片，通过第一摆镜模块可调整光束Y向位置，通过第二摆镜模块可调整光束X向位置，从而实现光束在X‑Y平面的定位。所述光束微动调整装置结构紧凑，操作方便且实用性强，能够实现光束在微小的尺寸范围内沿平面进行平移。在调整光斑在X‑Y平面位置时，保证了光束与Z轴的平行关系不生变化，避免了调整光斑工作位置时的反复操作。

主权项

1.一种光束微动调整装置，其特征在于：包括第一摆镜模块和第二摆镜模块，所述第一摆镜模块包括第一平行平板透射镜片和第一摆动部件；所述第一摆动部件包括第一镜框座组件、第一旋转组件以及第一微动锁紧机构；所述第一镜框座组件用于固定第一平行平板透射镜片，并可旋转地连接在第一旋转组件上，所述第一微动锁紧机构用于第一旋转组件在Y轴方向的驱动和固定；所述第二摆镜模块包括第二平行平板透射镜片和第二摆动部件；所述第二摆动部件包括第二镜框座组件、第二旋转组件以及第二微动锁紧机构，所述第二镜框座组件用于固定第二平行平板透射镜片，并可旋转地连接在第二旋转组件上，所述第二微动锁紧机构用于第二旋转组件在X轴方向的驱动和固定。