[实用新型]一种设有反射罩的OLED蒸镀线源有效
| 申请号： | 201721896812.4 | 申请日： | 2017-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN207699658U | 公开（公告）日： | 2018-08-07 |
| 发明（设计）人： | 林文晶;彭勃 | 申请（专利权）人： | 上海升翕光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/12 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所(普通合伙) 22210 | 代理人： | 南小平 |
| 地址： | 201506 上海市金*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种设有反射罩的OLED蒸镀线源，其包括：线源主体；所述线源主体在垂直于扫描方向上设置有排成一排的多个喷嘴；在多个喷嘴外围设有高度高于喷嘴的反射罩。本实用新型的设有反射罩的OLED蒸镀线源，通过在喷嘴外围设置反射罩，使得线源的垂直于扫描方向的蒸镀角可控性良好。本实用新型的设有反射罩的OLED蒸镀线源，蒸镀得到的膜厚均匀性好，可有效控制阴影效应，适用于高解析度OLED屏幕制备。 | ||
| 搜索关键词： | 线源 反射罩 蒸镀 喷嘴 本实用新型 扫描方向 垂直 外围 膜厚均匀性 高解析度 阴影效应 有效控制 可控性 制备 | ||
【主权项】：
1.一种设有反射罩的OLED蒸镀线源，其特征在于，包括：线源主体(2)；所述线源主体(2)在垂直于扫描方向上设置有排成一排的多个喷嘴(1)；在多个喷嘴(1)外围设有高度高于喷嘴(1)的反射罩(3)。
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