[实用新型]一种L型OLED蒸镀线源有效
| 申请号： | 201721897215.3 | 申请日： | 2017-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN207699659U | 公开（公告）日： | 2018-08-07 |
| 发明（设计）人： | 林文晶;彭勃 | 申请（专利权）人： | 上海升翕光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/12 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所(普通合伙) 22210 | 代理人： | 南小平 |
| 地址： | 201506 上海市金*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种L型OLED蒸镀线源，其包括：桶状坩埚，其内装填有机材料；气流平衡管，其与所述桶状坩埚的上端通过蒸汽导管相连；多个喷嘴，其排成一排设置在所述气流平衡管的顶端；所述桶状坩埚内的有机材料被加热后成为分子蒸汽，然后由气流平衡管上的多个喷嘴喷出。本实用新型的L型OLED蒸镀线源的蒸气导管、平衡管及喷嘴周围都布置了加热丝，使得这些部位在线源工作时保持高温，而使材料蒸汽分子不会在这些部位固化堆积。速率控制可以通过调节坩埚的加热丝的温度或者调节阀的开度来实现。由于坩埚的加热丝的面积较小，因此系统惯性较小，易于实现速率控制。而速率调节阀的加入可以使速率控制变得更精细、更准确。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚 气流平衡管 速率控制 加热丝 桶状 线源 蒸镀 本实用新型 有机材料 喷嘴 材料蒸汽 系统惯性 蒸气导管 蒸汽导管 喷嘴喷 平衡管 上端 装填 开度 固化 加热 蒸汽 堆积 精细 | ||
【主权项】：
1.一种L型OLED蒸镀线源，其特征在于，包括：桶状坩埚(5)，其内装填有机材料；气流平衡管(3)，其与所述桶状坩埚(5)的上端通过蒸汽导管相连；多个喷嘴(1)，其排成一排设置在所述气流平衡管(3)的顶端；所述桶状坩埚(5)内的有机材料被加热后成为分子蒸汽，然后由所述气流平衡管(3)上的多个喷嘴(1)喷出。
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