[实用新型]一种旋转式多端口有机材料真空升华提纯设备有效
申请号: | 201721900900.7 | 申请日: | 2017-12-29 |
公开(公告)号: | CN207769261U | 公开(公告)日: | 2018-08-28 |
发明(设计)人: | 穆广园;庄少卿 | 申请(专利权)人: | 湖北尚赛光电材料有限公司 |
主分类号: | B01D7/00 | 分类号: | B01D7/00 |
代理公司: | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人: | 陈卫 |
地址: | 436070 湖北省*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本实用新型涉及有机材料的提纯设备技术领域,具体涉及一种旋转式多端口有机材料真空升华提纯设备,属于物理气相沉积技术领域,其包括圆盒状的升华室、设置在升华室的下方的环形的加热装置以及沿着升华室的周向均匀的设置在升华室的侧壁上的若干收集管,各收集管与升华室1的内部连通。本实用新型所提供的旋转式多端口有机材料真空升华提纯设备可以在载盘的转动过程中,向多个收集管提供升华气体,从而同时在多个通路中进行材料的收集。 | ||
搜索关键词: | 升华室 提纯设备 有机材料 真空升华 多端口 收集管 旋转式 本实用新型 物理气相沉积 加热装置 内部连通 转动过程 圆盒状 侧壁 载盘 升华 | ||
【主权项】:
1.一种旋转式多端口有机材料真空升华提纯设备,其特征在于,包括:圆盒状的升华室(1),在所述升华室(1)的下方设置有电机(2),所述电机(2)的输出端竖直向上穿过所述升华室(1)的下底板并伸入到所述升华室(1)内,在所述电机(2)的输出端水平设置有圆形的载盘(3),在所述载盘(3)的外部设置有与所述载盘(3)同轴的环形的挡板(4),所述挡板(4)的下端面固定在所述升华室(1)的下底板的上表面上;设置在所述升华室(1)的下方的环形的加热装置(5);以及,沿着所述升华室(1)的周向均匀的设置在所述升华室(1)的侧壁上的若干收集管(6),各所述收集管(6)与所述升华室(1)的内部连通。
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