[实用新型]快速拉制单晶的装置有效
| 申请号： | 201721918894.8 | 申请日： | 2017-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN208201169U | 公开（公告）日： | 2018-12-07 |
| 发明（设计）人： | 曾国伟;乔晓东 | 申请（专利权）人： | 嘉兴耐进新材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10;C30B15/14;C30B29/06 |
| 代理公司： | 上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 31227 | 代理人： | 周兵 |
| 地址： | 314100 浙江省嘉兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提出一种快速拉制单晶的装置，包括炉体，炉体内设有可容纳硅原料的坩埚，坩埚上方设有热屏外套，由热屏外套对坩埚进行隔热，热屏外套中部具有供单晶棒通过的通孔，热屏外套上设有冷水内胆，冷水内胆通过管路与供水设备连通，由供水设备向冷水内胆供应冷水，由冷水内胆对拉出的单晶棒进行冷却。冷水内胆上设有保护板，保护板贴附于冷水内胆内侧，以防止硅熔液溅到冷水内胆上。热屏外套向坩埚内凹陷，冷水内胆贴附于热屏外套内侧。该装置利用热屏外套内的冷水内胆控制温度梯度，冷却水迅速带走单晶棒的温度，可降低单位能耗，加快晶体生产速度，减少生产时间，达到降低能耗，缩短生产周期，提高生产效率的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 冷水内胆 热屏 坩埚 单晶棒 供水设备 拉制 保护板 单晶 贴附 缩短生产周期 本实用新型 单位能耗 供应冷水 晶体生产 生产效率 温度梯度 硅熔液 硅原料 冷却水 内凹陷 隔热 对拉 炉体 通孔 连通 冷却 体内 容纳 生产 | ||
【主权项】：
1.快速拉制单晶的装置，包括炉体，炉体内设有可容纳硅原料的坩埚，其特征在于：坩埚上方设有热屏外套，由热屏外套对坩埚进行隔热，热屏外套中部具有供单晶棒通过的通孔，热屏外套上设有冷水内胆，冷水内胆通过管路与供水设备连通，由供水设备向冷水内胆供应冷水，由冷水内胆对拉出的单晶棒进行冷却。
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