[实用新型]一种热丝化学气相沉积装置有效
| 申请号： | 201721923160.9 | 申请日： | 2017-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN207877855U | 公开（公告）日： | 2018-09-18 |
| 发明（设计）人： | 张贺勇 | 申请（专利权）人： | 深圳市金洲精工科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/27 | 分类号： | C23C16/27;C23C16/455 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 巩克栋 |
| 地址： | 518116 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种热丝化学气相沉积装置，所述装置包括：反应室(1)，进气口(2)以及出气口(3)；所述反应室(1)内设置热灯丝(4)和样品台(5)，所述样品台(5)上设置挡热筒(6)。本实用新型通过在热丝化学气相沉积装置设置挡热筒，改变了沉积过程中工件不同部位的沉积温度以及气相浓度，进而实现了在同一工件不同部位沉积不同晶粒度或厚度的薄膜的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 热丝化学气相沉积 沉积 本实用新型 反应室 样品台 热筒 进气口 装置设置 出气口 晶粒度 热灯丝 薄膜 | ||
【主权项】：
1.一种热丝化学气相沉积装置，其特征在于，所述装置包括：反应室(1)，进气口(2)以及出气口(3)；所述反应室(1)内设置热灯丝(4)和样品台(5)，所述样品台(5)上设置挡热筒(6)。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
