[实用新型]一种超薄ITO玻璃生产线

摘要

本实用新型公开了一种超薄ITO 玻璃生产线，包括依次设置的清洗机、涂胶机、预烤机、曝光机、显影机、烘烤机、蚀刻机、脱膜机和收料机，各机台之间通过搬运架进行传送玻璃基板，其特征在于：搬运传输设备的传送机构包括相互配合的推杆装置和承托装置，承托装置的支板与推杆装置的支架一一对应，通过控制承托装置的支板上升或下降来实现与实现对玻璃的夹紧或松开动作，进而通过传送机构的水平往复运动来实现对超薄玻璃的输送动作。本实用新型对设备运输结构进行改进，有效保障了超薄玻璃运输的平稳性，通过加装二次烘烤过程，保证光刻胶的完全固化，避免蚀刻后出现的毛刺现象，从而可提高产品的生产速率，实现大规模的量产，提高产品的良率。

主权项

1.一种超薄ITO 玻璃生产线，包括按传送顺序依次设置的清洗机、涂胶机、预烤机、曝光机、显影机、烘烤机、蚀刻机、脱膜机和收料机，所述预烤机和烘烤机为搬运传输设备，所述清洗机、显影机、蚀刻机和脱膜机为滚轮传输设备，所述收料机为存储设备，各机台之间通过搬运架进行传送玻璃基板，其特征在于：搬运传输设备的传送机构包括相互配合的推杆装置和承托装置，在玻璃传送方向的两侧均设一个推杆装置和一个承托装置，所述推杆装置包括推杆电机和推杆，由推杆电机通过对应的转动装置实现推杆和设置与推杆上的支架进行水平往复运动，所述承托装置包括设置在底部的若干承托柱和对应设置在承托柱的支板，所述承托装置由升降电机和平移电机通过对应的传动装置分别实现上下往复运动和水平往复运动，承托装置的支板与推杆装置的支架一一对应，通过控制承托装置的支板上升或下降来实现与实现对玻璃的夹紧或松开动作，进而通过传送机构的水平往复运动来实现对超薄玻璃的输送动作。