[实用新型]沉积成膜装置有效
| 申请号： | 201721928073.2 | 申请日： | 2017-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN207699661U | 公开（公告）日： | 2018-08-07 |
| 发明（设计）人： | 谢志强;任思雨;苏君海;李建华 | 申请（专利权）人： | 信利（惠州）智能显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/54;C23C16/52 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 叶剑 |
| 地址： | 516029 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种沉积成膜装置。上述的沉积成膜装置包括成膜腔室、主排气管道与前级真空计；沉积成膜装置还包括旁路排气管道与粒子计数装置；主排气管道设置真空阀与蝶阀，主排气管道的一端与成膜腔室连通，主排气管道的另一端设置连接位，连接位用于连接干式真空泵；旁路排气管道设置旁路排气阀，旁路排气管道的一端与成膜腔室连通且设置于成膜腔室的底部，旁路排气管道的另一端连接主排气管道，且旁路排气管道的另一端位于蝶阀与连接位之间；上述的沉积成膜装置提高了整个成膜腔室的洁净度，使得成膜腔室的洁净度明确并可控，保证了成膜质量，提高了良品率，提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 成膜腔 旁路 主排气管道 成膜装置 排气管道 沉积 连接位 洁净度 蝶阀 连通 粒子计数装置 本实用新型 干式真空泵 生产效率 一端连接 一端设置 良品率 排气阀 真空阀 真空计 成膜 可控 前级 保证 | ||
【主权项】：
1.一种沉积成膜装置，包括成膜腔室、主排气管道与前级真空计，其特征在于，所述沉积成膜装置还包括旁路排气管道与粒子计数装置；所述主排气管道设置真空阀与蝶阀，所述主排气管道的一端与所述成膜腔室连通，所述主排气管道的另一端设置连接位，所述连接位用于连接干式真空泵；所述旁路排气管道设置旁路排气阀，所述旁路排气管道的一端与所述成膜腔室连通且设置于所述成膜腔室的底部，所述旁路排气管道的另一端连接所述主排气管道，且所述旁路排气管道的另一端位于所述蝶阀与所述连接位之间；所述前级真空计连接于所述旁路排气管道的另一端与所述连接位之间；所述粒子计数装置连接于所述主排气管道的一端与所述真空阀之间。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于信利（惠州）智能显示有限公司，未经信利（惠州）智能显示有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201721928073.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：移动通讯终端金属表面镀膜处理的抽气设备
- 下一篇：一种一体式封闭式石墨盒
- 同类专利
- 专利分类
