[外观设计]衬底处理装置的加热器用空气流量调整机有效
| 申请号： | 201730070911.6 | 申请日： | 2017-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN304306837S | 公开（公告）日： | 2017-10-03 |
| 发明（设计）人： | 山口天和;小杉哲也;西堂周平 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立国际电气 |
| 主分类号： | 23-03 | 分类号： | 23-03 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所11256 | 代理人： | 陈伟,刘伟志 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 1．本外观设计产品的名称衬底处理装置的加热器用空气流量调整机。2．本外观设计产品的用途本外观设计产品用于安装在对处理衬底的衬底处理装置的处理室进行加热的加热器上，以调整向加热器内部供给的空气的流量。3．本外观设计产品的设计要点在于产品的形状。4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片立体图。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 处理 装置 加热 器用 空气 流量 调整 | ||
【主权项】：
暂无信息
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