[发明专利]用于电子工业的基于亚砜/二醇醚的溶剂在审
| 申请号： | 201780000588.2 | 申请日： | 2017-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN108139693A | 公开（公告）日： | 2018-06-08 |
| 发明（设计）人： | 蒋奇;姜鑫;任华;金應圭;牟建海;大场薰 | 申请（专利权）人： | 陶氏环球技术有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;C11D7/50 |
| 代理公司： | 北京坤瑞律师事务所 11494 | 代理人： | 吴培善;王国祥 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及尤其适用于从显示器/半导体衬底或电子加工设备去除光致抗蚀剂和聚(酰胺酸)/聚酰亚胺的溶剂，其主要由以下各项组成：(A)第一组分，其由亚砜，例如DMSO组成；(B)第二组分，其由二醇醚，例如乙二醇单丁基醚组成；以及(C)第三组分，其由以下各项中的至少一个组成：N‑甲酰基吗啉、N,N‑二甲基丙酰胺、3‑甲氧基‑N,N‑二甲基丙酰胺、磷酸三乙酯、N,N‑二甲基乙酰胺、N,N‑二乙基乙酰胺、N,N‑二乙基丙酰胺、N‑甲基乙酰胺、N‑甲基丙酰胺、N‑乙基乙酰胺以及N‑乙基丙酰胺。 | ||
| 搜索关键词： | 丙酰胺 二醇醚 二甲基 溶剂 亚砜 电子加工设备 二甲基乙酰胺 二乙基乙酰胺 光致抗蚀剂 甲基乙酰胺 磷酸三乙酯 乙基乙酰胺 单丁基醚 甲基丙酰 聚酰亚胺 二乙基 甲氧基 甲酰基 乙二醇 酰胺酸 电子工业 衬底 吗啉 去除 乙基 显示器 半导体 | ||
【主权项】：
一种溶剂，其基本上由以下各项组成：(A)第一组分，其由亚砜组成；(B)第二组分，其由二醇醚组成；以及(C)第三组分，其由以下各项中的至少一个组成：N‑甲酰基吗啉、N,N‑二甲基丙酰胺、3‑甲氧基‑N,N‑二甲基丙酰胺、磷酸三乙酯、N,N‑二甲基乙酰胺、N,N‑二乙基乙酰胺、N,N‑二乙基丙酰胺、N‑甲基乙酰胺、N‑甲基丙酰胺、N‑乙基乙酰胺以及N‑乙基丙酰胺。
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