[发明专利]微针制造方法及微针制造装置

摘要

本发明提供一种能够形成中空针的微针制造方法及微针制造装置。本发明的微针制造方法的特征在于，包括以下步骤：光涡旋转换步骤：将激光束转换为具有螺旋状的偏振光的光涡旋脉冲光；针头形成步骤：照射所述光涡旋脉冲光，由此，相对于成为加工的对象的加工对象物形成针头；以及孔形成步骤：对所述针头照射激光脉冲光，由此，在所述针头形成洞或孔，其中，所述激光脉冲光的光斑尺寸小于所述光涡旋脉冲光的光斑尺寸。

主权项

1.一种微针制造装置，其特征在于，包括：/n对象物设置设备，该对象物设置设备待设置成为加工的对象的加工对象物；/n针头形成设备，该针头形成设备包括：射出激光束的激光出射部、将所述激光束转换为光涡旋脉冲光的光涡旋转换部、以及将所述光涡旋脉冲光会聚而照射于所述加工对象物的物镜，将由脉冲光构成的所述激光束转换为具有螺旋状的偏振光的光涡旋脉冲光，向所设定的光涡旋焦点位置照射所述光涡旋脉冲光，由此，在所述加工对象物形成针头；/n孔形成设备，该孔形成设备将基于所述激光束的所述激光脉冲光借助所述物镜而照射于所述加工对象物，由此向所设定的激光焦点位置照射激光脉冲光，从而在所述针头形成洞或孔；以及/n照射控制部，该照射控制部以形成所述针头时的所述光涡旋焦点位置为基准，设定所述激光焦点位置，/n所述光涡旋转换部为选择式的光涡旋转换部，其设置于所述激光出射部与所述物镜之间，能够将所述激光束转换为所述光涡旋脉冲光，另一方面，使所述激光束以激光脉冲光的形式通过。/n