[发明专利]处理装置

摘要

该处理装置例如具有载放处理对象(2)的多个载置台(8)；装设多个载置台(8)的旋转台(9)；及容纳载置台(8)等的箱体(13)，部分载置台(8)配置在对处理对象(2)实施处理的处理位置(8A)，部分载置台(8)配置在实施替换处理对象(8)的替换位置(8B)。在箱体(13)形成有在配置于替换位置(8B)的载置台(8)的上侧配置的开口部(34c)，在配置于替换位置(8B)的载置台(8)的下侧配置有使载置台(8)上升的上升机构(11)。如果配置在替换位置(8B)的载置台(8)被升起，则开口部(34c)被封闭，箱体(13)的内部变为被密闭了的空间，处理对象(2)露到箱体(13)的外侧。

主权项

一种处理装置，其特征在于，具有：多个载置台，所述载置台供处理对象载放；旋转台，多个所述载置台能升降地装设于所述旋转台；旋转驱动机构，所述旋转驱动机构使所述旋转台以上下方向为旋转的轴向旋转；上升机构，所述上升机构使所述载置台相对于所述旋转台上升；以及箱体，所述箱体容纳有所述载置台、所述旋转台、所述旋转驱动机构以及所述上升机构，多个所述载置台中的部分所述载置台配置在对所述处理对象实施处理的处理位置，多个所述载置台中的部分所述载置台配置在实施从所述载置台搬出所述处理对象以及向所述载置台提供所述处理对象中的至少一方的替换位置，所述旋转台使所述载置台在所述处理位置与所述替换位置之间移动，在所述箱体形成有开口部，所述开口部在配置于所述替换位置的所述载置台的上侧配置，且能够供所述处理对象通过，所述上升机构在配置于所述替换位置的所述载置台的下侧配置，如果配置在所述替换位置的所述载置台被所述上升机构升起，则从所述箱体的内部封闭所述开口部，从而所述箱体的内部变为被密闭了的空间，所述处理对象配置在所述开口部中，并露到所述箱体的外侧。