[发明专利]单晶制造装置有效

专利信息
申请号: 201780002192.1 申请日: 2017-05-31
公开(公告)号: CN107949665B 公开(公告)日: 2021-03-12
发明(设计)人: 进藤勇 申请(专利权)人: 株式会社水晶系统
主分类号: C30B29/06 分类号: C30B29/06;C30B11/08
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 温剑;刘多益
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明制造在垂直方向和水平方向上的组成均具有最佳添加物浓度的均质的大型单晶。本发明提供单晶制造装置,至少具备:在内部设置待制造的物质的种晶的透明石英管;设置于所述透明石英管的上部的粉末原料供给元件,其向设置在所述透明石英管内的种晶上供给粉末原料;设置于所述透明石英管的外侧的红外线照射元件,其向设置在所述透明石英管内的种晶的上表面以及通过所述粉末原料供给元件而供给至所述透明石英管内的粉末原料照射红外线;从所述红外线照射元件向所述透明石英管内照射红外线,藉此将所述种晶的上表面和粉末原料熔融,在所述种晶上使熔融后的物质固化来制造待制造的物质的单晶。
搜索关键词: 制造 装置
【主权项】:
单晶制造装置,该单晶制造装置至少具备:透明石英管,在其内部设置种晶;设置于所述透明石英管的上部的粉末原料供给元件,其向设置在所述透明石英管内的种晶上供给粉末原料;设置于所述透明石英管的外侧的红外线照射元件,其向设置在所述透明石英管内的种晶的上表面以及通过所述粉末原料供给元件而供给至所述透明石英管内的粉末原料照射红外线;从所述红外线照射元件向所述透明石英管内照射红外线,藉此使所述种晶的上表面和粉末原料熔融,使熔融后的物质在所述种晶上固化来制造单晶。
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