[发明专利]单晶制造装置和单晶制造方法

摘要

本发明的目的在于制造无晶粒边界的大型的单晶，所述单晶是在垂直方向和水平方向上均为具有最佳添加物浓度的均质组成且负晶和出溶片晶少的高品质的单晶。本发明的单晶制造装置至少具备在底部设置种晶的石英坩埚、向所述石英坩埚内供给粉末原料的粉末原料供给元件、向介由所述粉末原料供给元件而供给至石英坩埚内的粉末原料照射红外线的红外线照射元件，从所述红外线照射元件向所述石英坩埚内照射红外线来使所述粉末原料熔融和固化，藉此在所述石英坩埚内制造单晶，所述单晶制造装置如下配置：边用所述粉末原料供给元件向石英坩埚内供给粉末原料边用红外线照射元件向所述被供给的粉末原料照射红外线，同时所述粉末原料供给元件根据熔融的粉末原料的固化分量向所述石英坩埚内连续供给所述粉末原料。

主权项

单晶制造装置，该单晶制造装置至少具备在底部设置种晶的石英坩埚、向所述石英坩埚内供给粉末原料的粉末原料供给元件、向介由所述粉末原料供给元件而供给至石英坩埚内的粉末原料照射红外线的红外线照射元件，从所述红外线照射元件向所述石英坩埚内照射红外线来使所述粉末原料熔融和固化，藉此在所述石英坩埚内制造单晶，其特征在于，所述单晶制造装置如下配置：边用所述粉末原料供给元件向石英坩埚内供给粉末原料边用红外线照射元件向所述被供给的粉末原料照射红外线，同时，所述粉末原料供给元件根据熔融的粉末原料的固化分量向所述石英坩埚内连续供给所述粉末原料。