[发明专利]有机EL设备的制造方法及成膜装置有效
| 申请号： | 201780004047.7 | 申请日： | 2017-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN108886855B | 公开（公告）日： | 2020-04-14 |
| 发明（设计）人： | 岸本克彦 | 申请（专利权）人： | 堺显示器制品株式会社 |
| 主分类号： | H05B33/10 | 分类号： | H05B33/10;B05C9/12;B05D3/06;G09F9/30;H01L27/32;H01L51/50;H05B33/02;H05B33/04;H05B33/06 |
| 代理公司： | 上海音科专利商标代理有限公司 31267 | 代理人： | 刘香兰 |
| 地址： | 日本国大*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的有机EL设备的制造方法，包括：准备具有基板和排列在所述基板上的多个有机EL设备的元件基板的工序，和在所述元件基板上形成薄膜封装结构的工序；形成薄膜封装结构的工序包括：在元件基板上形成第一无机阻挡层的工序，使光固化性树脂在第一无机阻挡层上冷凝的工序，利用激光束照射光固化性树脂的被选择的多个区域并使光固化性树脂的至少一部分固化而形成光固化树脂层的工序，将光固化性树脂的未固化的部分除去的工序，以及在所述第一无机阻挡层上形成将光固化树脂层覆盖的第二无机阻挡层的工序。 | ||
| 搜索关键词： | 有机 el 设备 制造 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种有机EL设备的制造方法，其特征在于，包括：准备元件基板的工序，其中，所述元件基板具备：具有有源区域和位于所述有源区域外侧的周边区域的基板，以及被所述基板支撑的电气电路，所述电气电路含有形成于所述有源区域上的多个有机EL元件和对所述多个有机EL元件进行驱动的底板电路，并且，所述底板电路具有分别包含所述周边区域上的端子的多根引出配线；和形成薄膜封装结构的工序，其是在所述元件基板中所述多个有机EL元件上和所述多根引出配线的所述有源区域侧的部分上形成薄膜封装结构；所述形成薄膜封装结构的工序包括：在所述元件基板上形成第一无机阻挡层的工序；使液态的光固化性树脂在所述第一无机阻挡层上冷凝的工序；利用波长为400nm以下的激光束照射所述光固化性树脂的被选择区域，使所述光固化性树脂的至少一部分固化而形成光固化树脂层的工序，在该工序中，在所述多根引出配线上分别形成所述光固化树脂层的开口部；对所述光固化树脂层的表面的一部分进行灰化而形成有机阻挡层的工序；以及在所述第一无机阻挡层上形成将所述有机阻挡层覆盖的第二无机阻挡层的工序。
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