[发明专利]能够测定流量的气体供给装置、流量计以及流量测定方法

摘要

本发明提供一种能够测定流量的气体供给装置，具备：流量控制器，其控制所流通的气体流量；第一隔断阀，其设置在所述流量控制器的下游；第二隔断阀，其设置在与第一隔断阀的下游侧连通的所述第一流路；第二流路，其从所述第一流路分支而出；第三隔断阀，其设置于所述第二流路；压力检测器，其检测由所述第一、第二以及第三隔断阀所包围的流路内的压力；温度检测器，其检测由所述第一、第二以及第三隔断阀所包围的流路内的温度；体积测定用箱，其与所述第三隔断阀的下游连接并具有已知体积；以及运算控制装置，其通过在所述第三隔断阀的打开状态和关闭状态下运用波义耳定律求出由所述第一、第二以及第三隔断阀所包围的流路体积，并且利用所述流路体积、所述压力检测器以及所述温度检测器的检测值计算所述流量控制器的流量。

主权项

1.一种能够测定流量的气体供给装置，其特征在于，具备：流量控制器，所述流量控制器控制流通的气体流量；第一隔断阀，所述第一隔断阀设置在所述流量控制器的下游；第二隔断阀，所述第二隔断阀设置在与所述第一隔断阀的下游侧连通的第一流路；第二流路，所述第二流路在所述第一隔断阀与所述第二隔断阀之间从所述第一流路分支而出；第三隔断阀，所述第三隔断阀设置在所述第二流路；压力检测器，所述压力检测器用于检测由所述第一隔断阀、所述第二隔断阀以及所述第三隔断阀所包围的流路内的压力；温度检测器，所述温度检测器用于检测由所述第一隔断阀、所述第二隔断阀以及所述第三隔断阀所包围的流路内的温度；体积测定用箱，所述体积测定用箱与所述第三隔断阀的下游连接并具有已知体积；以及运算控制装置，其中，所述运算控制装置通过在所述第三隔断阀的打开状态和关闭状态下运用波义耳定律，求出由所述第一隔断阀、所述第二隔断阀、以及所述第三隔断阀所包围的流路体积，并且利用所述流路体积、所述压力检测器以及所述温度检测器的检测值计算所述流量控制器的流量。