[发明专利]圆筒形陶瓷溅射靶材及在背衬管上接合一个或多个圆筒形陶瓷溅射靶材构成的圆筒形陶瓷溅射靶在审
| 申请号： | 201780005879.0 | 申请日： | 2017-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN108431293A | 公开（公告）日： | 2018-08-21 |
| 发明（设计）人： | 馆野谕 | 申请（专利权）人： | JX金属株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C04B35/01;C04B37/02 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 杨国权;李慧 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的是提供一种圆筒形陶瓷溅射靶材及将该圆筒形陶瓷溅射靶材接合在背衬管上的圆筒形陶瓷溅射靶，由此能够抑制出现电弧、出现结节、出现裂纹的问题，其中所述问题只通过将各种块体特性(晶粒径、相对密度、电导率等)单独设置在适当的范围内是无法防止的。提供一种圆筒形陶瓷溅射靶材，在圆筒形陶瓷溅射靶材上，在靶的轴向上分成四份区域，再将四份区域中的每个在圆周方向上以0°、90°、180°和270°的间隔来划分区域，当在所划分出的每个区域上测量色差ΔE*ab时，色差ΔE*ab不到1.0。 | ||
| 搜索关键词： | 圆筒形陶瓷 溅射靶材 色差 接合 背衬管 溅射靶 电导率 电弧 单独设置 划分区域 块体特性 晶粒径 结节 测量 | ||
【主权项】：
1.一种圆筒形陶瓷溅射靶材，是轴向长度在210mm以下的圆筒形陶瓷溅射靶材，其特征在于：将所述圆筒形靶材轴向等间隔分成四份，再将分成四份的区域每个在圆周方向上以0°、90°、180°和270°的间隔划分成各个区域，在所述各个区域内两点的色差ΔE*ab均不到1.0。
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