[发明专利]具有改进的光斑大小能力的单波长椭圆偏振测量法

摘要

本文中呈现用于执行具有减小的测量光斑大小的单波长椭圆偏振测量法SWE测量的方法及系统。在一方面中，光瞳光阑位于集光光学路径中的光瞳平面处或所述光瞳平面附近以降低对目标边缘衍射效应的敏感度。在另一方面中，场光阑位于与所述集光光学路径中的晶片平面共轭的图像平面处或所述图像平面附近以降低对非所要光学‑结构相互作用的敏感度。在另一方面中，作用于所述SWE系统的输入光束的线性偏光器包含薄的、基于纳米粒子的偏光器元件。所述基于纳米粒子的偏光器元件改进照明光束质量且减少所述晶片平面上的像散。所述光瞳光阑及所述场光阑在非期望的光线到达检测器之前滤除所述光线。结果，测量光斑大小减小且用于小测量目标的工具间匹配性能大大增强。

主权项

1.一种计量系统，其包括：/n窄带照明源，其经配置以产生照明光束；/n照明光学器件子系统，其经配置以将所述照明光束从所述照明源引导到安置在所测量样品上的计量目标，所述照明光学器件子系统包含：/n线性偏光器，其经配置以接收由所述窄带照明源产生的所述照明光束且将线性偏光赋予到所述照明光束上；及/n椭圆偏光器，其经配置以从所述线性偏光器接收所述照明光束且将椭圆偏光赋予到所述照明光束上；/n检测器，其具有对入射光敏感的平坦二维表面，其中所述检测器经配置以产生指示所述样品对所述照明光束的响应的多个输出信号；及/n集光光学器件子系统，其经配置以自所述样品收集所收集光束且将所述所收集光束引导到所述检测器的所述表面，所述集光光学器件子系统包含：/n分析器，其经配置以接收所述所收集光束且将线性偏光赋予到所述所收集光束上；及/n位于靠近或处于所述集光光学器件子系统的图像平面的所述所收集光束中的场光阑及位于处于或靠近所述集光光学器件子系统的光瞳平面的所述所收集光束中的光瞳光阑中的任何者。/n