[发明专利]用于具有SiN层和Si层的基板的湿蚀刻组合物和使用其的湿蚀刻方法有效
| 申请号： | 201780005986.3 | 申请日： | 2017-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN108513679B | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 堀田明伸;岛田宪司;高桥健一;尾家俊行;伊藤彩 | 申请（专利权）人： | 三菱瓦斯化学株式会社 |
| 主分类号： | H01L21/308 | 分类号： | H01L21/308 |
| 代理公司： | 11277 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及用于具有SiN层和Si层的基板的湿蚀刻组合物，所述湿蚀刻组合物含有氟化合物(A)0.1～50质量％、氧化剂(B)0.04～10质量％和水(D)，并且pH处于2.0～5.0的范围。而且，本发明涉及使用该湿蚀刻组合物的、具有SiN层和Si层的半导体基板的湿蚀刻方法。通过使用本发明的组合物，减轻使用时产生的挥发成分造成的装置、排气管线的腐蚀和大气污染、进而减轻组合物中的氮成分造成的环境负荷，并且对于具有SiN层和Si层的基板，可以提高Si相对于SiN的去除选择性。 | ||
| 搜索关键词： | 湿蚀刻 基板 氧化剂 半导体基板 氟化合物 环境负荷 排气管线 挥发 去除 腐蚀 | ||
【主权项】：
1.一种湿蚀刻组合物，其为用于具有SiN层和Si层的基板的湿蚀刻组合物，所述湿蚀刻组合物含有氟化合物(A)大于1质量％且50质量％以下、氧化剂(B)0.04～10质量％和水(D)，并且pH处于2.0～5.0的范围，所述氧化剂(B)含有选自由高锰酸化合物和五氧化二钒组成的组中的1种以上、且不含有硝酸，/n对于具有SiN层和Si层的基板，Si的蚀刻速度高且Si相对于SiN的去除选择性高。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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