[发明专利]为样品产生模拟输出

摘要

本发明提供用于为样品产生模拟输出的方法及系统。一种方法包含使用一或多个计算机系统获取针对样品的信息。所述信息包含所述样品的实际光学图像、所述样品的实际电子束图像及针对所述样品的设计数据中的至少一者。所述方法还包含将针对所述样品的所述信息输入到基于学习的模型中。所述基于学习的模型包含于由一或多个计算机系统执行的一或多个组件中。所述基于学习的模型经配置以映射光学图像、电子束图像与设计数据之间的三角关系，且所述基于学习的模型将所述三角关系应用到所述输入以借此为所述样品产生模拟图像。

主权项

1.一种经配置以为样品产生模拟输出的系统，其包括：一或多个计算机子系统，其经配置以获取针对样品的信息，其中所述信息包括所述样品的实际光学图像、所述样品的实际电子束图像及针对所述样品的设计数据中的至少一者；及一或多个组件，其由所述一或多个计算机子系统执行，其中所述一或多个组件包括基于学习的模型，其中所述基于学习的模型经配置以映射光学图像、电子束图像与设计数据之间的三角关系，其中所述一或多个计算机子系统经配置以将针对所述样品的所述信息输入到所述基于学习的模型中，且其中所述基于学习的模型将所述三角关系应用到所述输入以借此为所述样品产生模拟输出。