[发明专利]用于泵送管线中的沉积物清洁的方法和设备有效
| 申请号： | 201780006521.X | 申请日： | 2017-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN108431923B | 公开（公告）日： | 2020-11-24 |
| 发明（设计）人： | G.希尔;S.贝内迪特;K.温策尔 | 申请（专利权）人： | MKS仪器有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 邹松青;谭祐祥 |
| 地址： | 美国麻*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了真空泵送管线等离子体源。该等离子体源包括本体，所述本体限定沿中心纵向轴线延伸的大致柱形内部体积。所述本体具有用于联接到输入泵送管线的输入端口、用于联接到输出泵送管线的输出端口、以及围绕所述大致柱形内部体积设置的内表面。该等离子体源还包括：设置成邻近于返回电极的供应电极；阻挡介质构件，所述阻挡介质构件的至少一部分被定位在所述供应电极与所述返回电极之间。该等离子体源还包括由所述供应电极、所述返回电极和所述阻挡介质构件形成的介质阻挡放电结构。所述介质阻挡放电结构适于在所述大致柱形内部体积中产生等离子体。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 管线 中的 沉积物 清洁 方法 设备 | ||
【主权项】：
1.一种真空泵送管线等离子体源，所述真空泵送管线等离子体源包括：本体，所述本体限定沿中心纵向轴线延伸的大致柱形内部体积，所述本体具有用于联接到输入泵送管线的输入端口、用于联接到输出泵送管线的输出端口、以及围绕所述大致柱形内部体积设置的内表面；设置成邻近于返回电极的供应电极；阻挡介质构件，所述阻挡介质构件的至少一部分被定位在所述供应电极与所述返回电极之间；以及由所述供应电极、所述返回电极和所述阻挡介质构件形成的介质阻挡放电结构，其中，所述介质阻挡放电结构的至少一部分被设置在所述本体中或在所述本体的内表面上，并且所述介质阻挡放电结构适于在所述大致柱形内部体积中产生等离子体。
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