[发明专利]气体控制装置有效
| 申请号： | 201780007740.X | 申请日： | 2017-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN108496004B | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 藤崎雅章 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | F04B43/04 | 分类号： | F04B43/04;F04B39/12 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李洋;青炜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供气体控制装置(100)，其具备第1泵(110)、第2泵(120)和连接壳体(90)。第1泵(110)具有第1泵壳体(2)、第1吸引孔(31)和第1排出孔(41)。第1泵壳体(2)具有多个外壁(2A、2B、2C)。第2泵(120)具有第2泵壳体(102)、第2吸引孔(131)和第2排出孔(141)。连接壳体(90)具有第1开口部(191)和第2开口部(192)。连接壳体(90)与第1泵壳体(2)、第2泵壳体(102)一同形成第1封闭空间(80)。第2排出孔(141)与第1吸引孔(31)经由第1封闭空间(80)连通。第1泵(110)与第2泵(120)串联连接。设置有第1吸引孔(31)的外壁(2A)面向第1封闭空间(80)。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 控制 装置 | ||
【主权项】：
1.一种气体控制装置，其具备：第1泵，其具备具有多个外壁的第1泵壳体、设置于所述第1泵壳体的第1吸引孔和第1排出孔；第2泵，其具有第2泵壳体、设置于所述第2泵壳体的第2吸引孔和第2排出孔；和连接壳体，其与所述第1泵壳体和所述第2泵壳体一同形成第1封闭空间，所述多个外壁中的至少设置有所述第1吸引孔的第1外壁面向所述第1封闭空间，所述第2排出孔和所述第1吸引孔经由所述第1封闭空间连通。
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