[发明专利]具有保护层工具的整合的锂沉积有效
| 申请号： | 201780008939.4 | 申请日： | 2017-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN108604668B | 公开（公告）日： | 2022-07-08 |
| 发明（设计）人： | 苏布拉曼亚·P·赫尔勒;迪特尔·哈斯 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01M4/133 | 分类号： | H01M4/133;H01M4/02;H01M4/1393;H01M4/04;B32B27/08 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在一实施方式中，公开了一种用于在能量储存装置中的锂金属的沉积和处理的整合处理工具。整合的处理工具可为卷材工具(web tool)。整合的处理工具可包括：卷对卷系统(reel‑to‑reel system)，该卷对卷系统用于经由下列的腔室来传送连续的材料片：用于将锂金属的薄膜沉积在连续的材料片上的腔室和用于将保护膜沉积在锂金属的薄膜的表面上的腔室。用于沉积锂金属的薄膜的腔室可包括：诸如电子束蒸发器的PVD系统、薄膜传送系统，或狭缝式沉积系统(slot‑die deposition system)。用于将保护膜沉积在锂金属膜上的腔室可包括：沉积夹层膜的腔室或用于将锂离子传导性聚合物沉积在锂金属膜上的腔室。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 保护层 工具 整合 沉积 | ||
【主权项】：
1.一种负极，包括：硅石墨阳极；锂金属膜，所述锂金属膜形成于所述硅石墨阳极上；及保护膜，所述保护膜形成于所述锂金属薄膜上，其中所述保护膜是锂离子传导性材料或夹层膜。
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