[发明专利]具有嵌入式镜面的工程衬底有效

专利信息
申请号: 201780009220.2 申请日: 2017-01-27
公开(公告)号: CN108604613B 公开(公告)日: 2022-10-14
发明(设计)人: 埃里克·圭奥特;A·图辛;T·辛格纳马切克斯;E·拉古特 申请(专利权)人: 索泰克公司;法国原子能和替代能源委员会
主分类号: H01L31/0725 分类号: H01L31/0725;C30B33/06;H01L21/20;H01L21/203;H01L31/18;H01L31/056;H01L31/054;H01L31/043
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 庞东成;武胐
地址: 法国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 工程衬底包括:由用于太阳能电池生长的第一半导体材料制成的种子层;在种子层上的第一键合层;由第二半导体材料制成的支持衬底;在支持衬底的第一侧上的第二键合层;第一和第二键合层之间的键合界面;第一和第二键合层各自由金属材料制成;其中,选择工程衬底的掺杂浓度和厚度,特别是种子层、支持衬底以及第一和第二键合层的掺杂浓度和厚度,使得种子层的吸收小于20%,优选小于10%,并且工程衬底的总面积归一化串联电阻小于10mOhm·cm2,优选小于5mOhm·cm2
搜索关键词: 具有 嵌入式 工程 衬底
【主权项】:
1.工程衬底(101,103),其包括:由用于太阳能电池生长的第一半导体材料制成的种子层(3);在所述种子层(3)上的第一键合层(4A);由第二半导体材料制成的支持衬底(5);在所述支持衬底(5)的第一侧上的第二键合层(4B);第一和第二键合层(4A,4B)之间的键合界面(4);第一和第二键合层(4A,4B)各自由金属材料制成;其中,所述半导体材料的掺杂浓度和所述工程衬底(101,103)的各层的厚度,特别是所述种子层、所述支持衬底以及第一和第二键合层的厚度,被选择成使得所述种子层(3)的吸收小于20%、优选小于10%,并且所述工程衬底(101,103)的总面积归一化串联电阻小于10mOhm·cm2、优选小于5mOhm·cm2。
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