[发明专利]差分MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201780009529.1 | 申请日： | 2017-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN108702574B | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | M·昆特兹曼;W·康克林;桑·博克·李 | 申请（专利权）人： | 美商楼氏电子有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H04R19/04;H04R1/04;B81B3/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 黄纶伟;李艳芳 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 微机电系统马达和微机电系统麦克风。本公开主要涉及麦克风和相关组件。一个示例微机电系统MEMS马达包括：第一振膜；第二振膜，该第二振膜被设置为与所述第一振膜成大体平行关系，所述第一振膜和所述第二振膜之间形成气隙；以及背板，该背板被设置在所述第一振膜与所述第二振膜之间的所述气隙中并且与所述第一振膜和所述第二振膜成大体平行关系。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 | ||
【主权项】：
1.一种微机电系统MEMS马达，所述MEMS马达包括，第一振膜，第二振膜，所述第二振膜被设置为与所述第一振膜成大体平行关系，所述第一振膜和所述第二振膜之间形成气隙；以及背板，所述背板设置在所述第一振膜与所述第二振膜之间的所述气隙中并且与所述第一振膜和所述第二振膜成大体平行关系。
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