[发明专利]激光加工装置

摘要

本发明提供一种激光加工装置。声光偏转器将激光束转向截止器路径、第1加工路径及第2加工路径中的任一个路径。光束偏转器分别配置在第1加工路径及第2加工路径上。控制装置重复进行如下步骤：使光束偏转器动作的步骤、及控制声光偏转器从而从原始激光脉冲向第1加工路径切取激光脉冲，之后向第2加工路径切取激光脉冲的步骤。在重复该步骤的过程中，从指示激光光源开始振荡的时刻到向第1加工路径切取激光脉冲的时刻为止的经过时间不变。即使使向第1加工路径切取的激光脉冲的脉冲宽度发生变化，向声光偏转器发送向第1加工路径的切取信号到发送向第2加工路径的切取信号为止的经过时间也不会发生变化。

主权项

1.一种激光加工装置，其特征在于，具有：激光光源，其输出激光束；声光偏转器，其配置于从所述激光光源输出的激光束的路径上，并将入射的激光束转向朝向光束截止器的截止器路径、第1加工路径及第2加工路径中的任一个路径；工作台，将加工对象物保持在转向所述第1加工路径的第1激光脉冲入射的位置及转向所述第2加工路径的第2激光脉冲入射的位置；第1光束偏转器及第2光束偏转器，其分别配置于所述第1加工路径及所述第2加工路径上，并且改变朝向保持在所述工作台的加工对象物的入射位置；及控制装置，其控制所述激光光源、所述声光偏转器、所述第1光束偏转器及所述第2光束偏转器，所述控制装置重复进行如下步骤：使所述第1光束偏转器及所述第2光束偏转器动作，从而使所述第1激光脉冲及所述第2激光脉冲的入射位置移动到目标位置的步骤；指示所述激光光源开始振荡的步骤；控制所述声光偏转器，从而从所述激光光源所输出的原始激光脉冲向所述第1加工路径切取所述第1激光脉冲，之后从相同的原始激光脉冲向所述第2加工路径切取所述第2激光脉冲的步骤；及指示所述激光光源停止振荡的步骤，在重复所述步骤的过程中，从指示所述激光光源开始振荡的时刻到从所述激光光源所输出的原始激光脉冲向所述第1加工路径切取所述第1激光脉冲的时刻为止的经过时间不变，向所述第1加工路径切取的所述第1激光脉冲的脉冲宽度变化，向所述声光偏转器发送向所述第1加工路径切取所述第1激光脉冲的切取信号到发送向所述第2加工路径切取所述第2激光脉冲的切取信号为止的经过时间不变。