[发明专利]基板把持手及基板搬送装置

摘要

基板把持手，具备：基座板，规定有中心线和把持位置；设置在基座板的梢端侧的至少一个固定爪，能与位于把持位置的基板的边缘卡合；可动爪，具有能对位于把持位置的基板的边缘作用的作用部，且在比把持位置更靠近基端侧处在中心线上往返移动；推动器，具有能对比垂直姿势的基板的中心更下方的边缘作用的作用部，且在比把持位置更靠近基端侧处与中心线平行地往返移动；致动器，使可动爪及推动器一体地往返移动。以藉由朝向梢端侧进行往动的推动器对基板抬高至把持位置后，藉由进行往动的可动爪及固定爪的协动把持基板的方式，推动器的作用部位于比可动爪的作用部更靠近梢端侧处。

主权项

1.一种基板把持手，把持圆板状的基板，其特征在于，具备：基座板，规定有从基端侧往梢端侧延伸的中心线、基板的中心位于该中心线上的把持位置；设置在所述基座板的所述梢端侧的至少一个固定爪，能与位于所述把持位置的所述基板的边缘卡合；可动爪，具有能对位于所述把持位置的所述基板的边缘作用的作用部，且在比所述把持位置更靠近所述基端侧处在所述中心线上往返移动；推动器，具有能对比垂直姿势的所述基板的中心更下方的边缘作用的作用部，且在比所述把持位置更靠近所述基端侧处与所述中心线平行地往返移动；致动器，使所述可动爪及所述推动器一体地往返移动，以藉由朝向所述梢端侧进行往动的所述推动器对垂直姿势的所述基板作用而所述基板抬高至所述把持位置后，藉由进行往动的所述可动爪对所述基板作用而藉由所述可动爪及所述固定爪的协动把持所述基板的方式，所述推动器的作用部位于比所述可动爪的作用部更靠近所述梢端侧处。