[发明专利]压电微机械超声换能器和换能器阵列有效
| 申请号： | 201780011467.8 | 申请日： | 2017-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN108698084B | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 小唐纳德·威廉·基德韦尔;拉温德拉·瓦曼·谢诺伊;乔恩·布拉德利·拉斯特 | 申请（专利权）人： | 高通股份有限公司 |
| 主分类号： | B06B1/06 | 分类号： | B06B1/06 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 杨林勳 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种设备可包含一或多个分段压电微机械超声换能器PMUT元件。每个分段PMUT元件可包含衬底、安置在所述衬底上的锚定结构以及安置成接近于所述锚定结构的膜。所述膜可包含压电层叠层和机械层。所述锚定结构可包含将所述分段PMUT元件划分成分段的边界部分。每个分段可具有对应的分段空腔。所述边界部分可对应于整个膜的节线。所述膜可包含安置成接近于每个分段空腔的膜分段。所述膜可经配置以当所述分段PMUT元件接收或发射信号时进行挠曲运动和振动中的一或两者。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 微机 超声 换能器 阵列 | ||
【主权项】：
1.一种设备，其包括：分段压电微机械超声换能器PMUT元件，其包含：衬底；锚定结构，其安置在所述衬底上；膜，其安置成接近于所述锚定结构，所述膜包含压电层叠层和机械层，其中：所述锚定结构包含将所述分段PMUT元件划分成分段的边界部分，每个分段具有对应的分段空腔；所述膜包含安置成接近于每个分段空腔的膜分段；以及所述膜经配置以当所述分段PMUT元件接收或发射超声波信号时进行挠曲运动和振动中的一或两者。
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