[发明专利]气体放电光源中的气体优化

摘要

通过在一组极端测试条件下操作光源的同时估计光源的操作参数的多个极值来调节光源的一个或多个操作特性。对于每个极端测试条件，在极端测试条件下操作第一气体放电室的同时向光源的第一气体放电室提供一组能量脉冲，以产生第一脉冲放大光束；在极端测试条件下操作第二气体放电室的同时向光源的第二气体放电室提供一组能量脉冲，以产生第二脉冲放大光束。测量极端测试条件下的操作参数的极值，由此估计操作参数的极值。

主权项

1.一种调节光源的一个或多个操作特性的方法，所述光源包括第一级和第二级，所述第一级具有填充有第一气体混合物并且包括第一脉冲能量源的第一气体放电室，所述第二级具有填充有第二气体混合物并且包括第二脉冲能量源的第二气体放电室，所述方法包括：在一组极端测试条件下操作所述光源的同时，估计所述光源的操作参数的多个极值，对于每个极端测试条件，所述估计包括：在所述极端测试条件下操作所述第一气体放电室的同时，向所述第一气体放电室提供一组能量脉冲，以从所述第一级产生被引导到所述第二级的第一脉冲放大光束；在所述极端测试条件下操作所述第二气体放电室的同时，并且在所述第一脉冲放大光束被输入到所述第二气体放电室的同时，向所述第二气体放电室提供一组能量脉冲，以产生第二脉冲放大光束；以及针对所述极端测试条件测量操作参数的极值；基于所估计的操作参数的多个极值来确定是否要调节所述光源的多个操作特性中的至少一个操作特性；以及如果确定应当调节操作特性，则调节所述操作特性。