[发明专利]可低温固化的负型感光性组合物有效
| 申请号： | 201780011950.6 | 申请日： | 2017-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN108700814B | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 三角元希;横山大志;谷口克人;九泽昌祥 | 申请（专利权）人： | AZ电子材料(卢森堡)有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/075 | 分类号： | G03F7/075;G03F7/027;G03F7/038;G03F7/40 |
| 代理公司： | 北京三幸商标专利事务所(普通合伙) 11216 | 代理人： | 刘卓然 |
| 地址： | 卢森堡国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种负型感光性组合物，所述负型感光性组合物可低温固化，并且可获得透明性、耐化学品性、耐环境性高的固化膜，还提供使用该组合物的图案形成方法。本发明提供一种负型感光性组合物，其包含：碱可溶性树脂、具有2个以上的(甲基)丙烯酰氧基的化合物、聚硅氧烷、聚合引发剂、以及溶剂，所述碱可溶性树脂是含有包含羧基的聚合单元与包含烷氧基甲硅烷基的聚合单元的聚合物。 | ||
| 搜索关键词： | 低温 固化 感光性 组合 | ||
【主权项】：
1.一种负型感光性组合物，其包含：碱可溶性树脂，所述碱可溶性树脂是含有包含羧基的聚合单元与包含烷氧基甲硅烷基的聚合单元的聚合物，具有2个以上的(甲基)丙烯酰氧基的化合物，聚硅氧烷，聚合引发剂，以及溶剂。
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