[发明专利]用干涉频谱法测量腔体有效
| 申请号： | 201780012513.6 | 申请日： | 2017-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN108700401B | 公开（公告）日： | 2021-01-29 |
| 发明（设计）人： | 比约恩·哈布里希 | 申请（专利权）人： | 比约恩·哈布里希 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01S7/481;G01S7/497;G01S17/36;G01N21/45 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 余刚;李慧 |
| 地址： | 德国达*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于以干涉测量的方式确定腔体的几何和/或光学参数的方法，包括以下方法步骤：在频率范围Δf上调谐相干光源(10)的频率f，从相干光源(10)获得目标光束和基准光束，其中目标光束穿过腔体至少一次，通过将基准光束叠加在目标光束上，产生取决于光源的频率f的干涉信号I(f)，在相干光源的频率f的频率范围Δf上捕获干涉信号I(f)的干涉频谱，通过将测量点拟合到产生的数学函数，在频率范围Δf上评估干涉频谱的多个测量点，并且通过确定产生的数学函数的参数来确定腔体(40、45)的几何和/或光学参数。 | ||
| 搜索关键词： | 干涉 频谱 测量 | ||
【主权项】：
1.一种用于以干涉测量的方式确定腔体(40、45)的几何和/或光学参数的方法，具有以下方法步骤：‑在频率范围Δf上调谐相干光源(10)的频率f，‑从所述相干光源获得目标光束和基准光束，其中所述目标光束穿过所述腔体至少一次，‑通过将所述基准光束叠加在所述目标光束上，产生取决于所述光源的所述频率f的干涉信号I(f)，‑在所述相干光源的所述频率f的所述频率范围Δf上获取所述干涉信号I(f)的干涉频谱，‑通过将所获取的干涉频谱的大量的测量点与生成的数学函数进行数值拟合，在所述频率范围Δf上分析所述测量点，以及‑通过确定所生成的数学函数的参数来确定所述腔体(40、45)的所述几何和/或光学参数。
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