[发明专利]曝光装置、平板显示器的制造方法、器件制造方法、遮光装置及曝光方法有效
| 申请号： | 201780012572.3 | 申请日： | 2017-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN108700825B | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 青木淳行;水桥谦介;中村贵;西川仁;金子宏和 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 陈伟;王娟娟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种曝光方法，其具备将光罩(M)的图案投影至基板(P)的多个投影光学单元，使光罩(M)和基板(P)沿着X方向相对移动而将光罩(M)的图案在基板(P)进行曝光，该曝光方法包含：第1曝光工序，其在以第1倾斜角度对通过投影光学单元投影在基板(P)上的投影区域的‑Y侧端部进行了遮光的状态下，将图案A投影至基板(P)上的A区域；步进移动工序，其使基板(P)移动；和第2曝光工序，其在以第2倾斜角度对投影区域的+Y侧的端部进行了遮光的状态下，将图案B投影至至少一部分与A区域重叠的B区域。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 装置 平板 显示器 制造 方法 器件 遮光 | ||
【主权项】：
1.一种曝光装置，其使物体相对于投影光学系统沿着第1方向相对移动并进行曝光，所述投影光学系统将规定图案投影至所述物体，所述曝光装置的特征在于，具备：遮光部，其对经由所述投影光学系统投影在所述物体上的投影区域中、根据所述第1方向上的位置而所述物体上的照明量沿着第2方向变化的规定区域进行遮光，其中，所述第2方向与所述第1方向交叉；和驱动部，其以使所述照明量变化的方式对所述遮光部进行驱动。
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