[发明专利]放射线敏感性树脂组合物及抗蚀剂在审
| 申请号： | 201780012824.2 | 申请日： | 2017-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN108700812A | 公开（公告）日： | 2018-10-23 |
| 发明（设计）人： | 阿部信纪;佐藤信宽 | 申请（专利权）人： | 日本瑞翁株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/038 | 分类号： | G03F7/038;G03F7/004;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 赵曦;刘继富 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的放射线敏感性树脂组合物含有碱溶性树脂(a)、交联成分(b)、吸收活性放射线的化合物(c)、以及碱性化合物(d)，上述碱溶性树脂(a)含有超过70质量％的酚醛清漆树脂，上述交联成分(b)是光酸产生剂(b1)和酸交联剂(b2)的组合。 | ||
| 搜索关键词： | 放射线敏感性树脂组合物 碱溶性树脂 酚醛清漆树脂 光酸产生剂 活性放射线 碱性化合物 酸交联剂 抗蚀剂 吸收 | ||
【主权项】：
1.一种放射线敏感性树脂组合物，含有碱溶性树脂a、通过活性放射线的照射或者活性放射线的照射及其后的热处理而交联所述碱溶性树脂的交联成分b、以及吸收所述活性放射线的化合物c，(1)所述交联成分b是光酸产生剂b1和酸交联剂b2的组合，所述光酸产生剂b1通过所述活性放射线的照射而产生酸，所述酸交联剂b2将通过所述活性放射线而产生的酸作为催化剂从而交联所述碱溶性树脂a，(2)所述碱溶性树脂a含有超过70质量％的酚醛清漆树脂，(3)包含碱性化合物d。
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