[发明专利]CMOS兼容的露点传感器装置和确定露点的方法

摘要

露点传感器装置包括半导体衬底(1)，可以集成在衬底(1)中的珀耳帖元件(2)，温度传感器(3)，在所述衬底(1)上方裸露面(9)处且在所述温度传感器(3)附近的电容器(4)，以及电子电路(5)，电子电路(5)也可以集成在衬底(1)中。所述电容器(4)包括多个电容器元件(40)，每个所述电容器元件(40)具有电容，并且所述电子电路(5)用于单独确定电容。通过在温度递减下电容的变化的测量和在相关温度下的测量来确定露点。

主权项

1.一种露点传感器装置，包括：‑半导体衬底(1)，‑珀耳帖元件(2)，‑温度传感器(3)，‑在所述衬底(1)上方的表面(9)处的电容器(4)，所述温度传感器(3)和所述电容器(4)布置成使得所述电容器(4)的温度能够被所述温度传感器(3)测量，‑所述电容器(4)包括多个电容器元件(40)，每个电容器元件具有电容，以及‑电子电路(5)，其被配置为单独确定所述电容，其特征在于，‑所述电子电路(5)被配置为生成一组二进制数字，每个二进制数字对应于所述电容器元件(40)中的一个并指示所述电容器元件(40)的电容是否在预定范围内。