[发明专利]生产粒状多晶硅的方法和设备在审
| 申请号： | 201780013654.X | 申请日： | 2017-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN108698008A | 公开（公告）日： | 2018-10-23 |
| 发明（设计）人： | S·佩德龙 | 申请（专利权）人： | 瓦克化学股份公司 |
| 主分类号： | B01J8/18 | 分类号： | B01J8/18;C01B33/027 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 李振东;过晓东 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及在流化床反应器中生产粒状多晶硅的方法，该流化床反应器包含反应器管以及在反应器管外部的加热装置，其中在反应器管中通过气流使硅核心颗粒(晶种)在借助加热装置加热的流化床中流化，并通过将含硅的反应气体引入流化床中通过热解而在热的硅核心颗粒上沉积多晶硅，并将以此方式形成的粒状多晶硅由反应器管排出，其中所述反应器管具有流化床区域及在流化床上方的未加热区域，反应器管在其内壁上具有硅涂层，其特征在于，反应器管在流化床上方的未加热区域的壁温使得在由15至500天的运行持续时间之后在总反应器管中硅涂层的最大硅层厚度与在流化床区域中的平均硅层厚度的比例为由7:1至1.5:1。 | ||
| 搜索关键词： | 反应器管 流化床 粒状多晶硅 流化床反应器 流化床区域 核心颗粒 加热区域 加热装置 硅涂层 硅层 方法和设备 反应气体 多晶硅 壁温 过热 晶种 排出 沉积 加热 生产 外部 引入 | ||
【主权项】：
1.在流化床反应器中生产粒状多晶硅的方法，该流化床反应器包含反应器管以及在反应器管外部的加热装置，其中在反应器管中通过气流使硅核心颗粒(晶种)在借助加热装置加热的流化床中流化，并通过将含硅的反应气体引入流化床中通过热解而在热的硅核心颗粒上沉积多晶硅，并将以此方式形成的粒状多晶硅由反应器管排出，其中所述反应器管具有流化床区域及在流化床上方的未加热区域，反应器管在其内壁上具有硅涂层，其特征在于，反应器管在流化床上方的未加热区域的壁温使得在由15至500天的运行持续时间之后在总反应器管中硅涂层的最大硅层厚度与在流化床区域中的平均硅层厚度的比例为由7:1至1.5:1。
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