[发明专利]光源装置及光源装置的驱动方法有效
申请号: | 201780013676.6 | 申请日: | 2017-06-28 |
公开(公告)号: | CN108700490B | 公开(公告)日: | 2020-11-10 |
发明(设计)人: | 北野宏幸;铃木克哉;山本浩巳 | 申请(专利权)人: | 尹达亚克逊股份有限公司 |
主分类号: | G01M11/00 | 分类号: | G01M11/00;G01J3/46;H01L27/144 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 刘建 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 光源装置(100)包括射出应照射的光的光源(101)、测定由光源射出的出射光的色度的色度测定部(分光器)(109)、能够使色度调节用滤光片(CHA、CHB)在出射光(L)的光路(LP)上进出而通过色度调节用滤光片的进出可调节出射光的色度的色度调节部(120)、以及根据色度测定部的测定结果监控出射光的色度的变化并控制色度调节部的色度调节用滤光片在光路(LP)上的进出以使该色度成为预先设定为目标的色度的控制部(400)。由此,光源装置(100)针对随时间变化以及光学部件的规格偏差,能够照射相同色调的光。 | ||
搜索关键词: | 光源 装置 驱动 方法 | ||
【主权项】:
1.一种光源装置,其对目标物照射光,其中,所述光源装置包括:光源,其射出应照射的光;色度测定部,其测定由所述光源射出的出射光的色度;色度调节部,其能够使色度调节用滤光片在所述出射光的光路上进出,通过该色度调节用滤光片的进出而能够调节所述出射光的色度;以及控制部,其根据所述色度测定部的测定结果监控所述出射光的色度的变化,并控制所述色度调节部的色度调节用滤光片在所述光路上的进出以使该色度成为预先设定为目标的色度。
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