[发明专利]用于校准扫描探针的方法和装置在审
| 申请号： | 201780014030.X | 申请日： | 2017-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN108700413A | 公开（公告）日： | 2018-10-23 |
| 发明（设计）人： | 约翰·查尔斯·乌尔德 | 申请（专利权）人： | 瑞尼斯豪公司 |
| 主分类号： | G01B21/04 | 分类号： | G01B21/04;B23Q17/00 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 谢攀;刘继富 |
| 地址： | 英国格*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 描述了用于设置安装到机床的可旋转主轴(2)的扫描探针(4；40)的空值位置的方法。该方法可以作为探针评定过程的一部分来执行。该方法包括使用当该扫描探针(4；40)被安装到该主轴(2)时所收集的探针测量数据来设置该空值位置。在一个实施例中，该扫描探针的触针尖端(14；94)可以在收集该探针测量数据的同时位于圆锥形凹部(92)中。经设置的空值位置被布置成远离该扫描探针的停置位置并且基本上与该主轴的旋转轴(R，S)重合。因此可以避免在后续测量周期中测量和使用探针偏移值的需要。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描探针 探针测量 后续测量周期 方法和装置 可旋转主轴 圆锥形凹部 触针尖端 探针偏移 停置位置 旋转轴 校准 重合 探针 机床 测量 评定 | ||
【主权项】：
1.一种用于对被安装到机床的可旋转主轴的扫描探针的空值位置进行设置的方法，所述方法包括如下步骤：使用当扫描探针被安装到所述主轴时所收集的探针测量数据来设置空值位置，其中，经设置的空值位置被布置成远离所述扫描探针的停置位置并且基本上与所述主轴的旋转轴重合。
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