[发明专利]氧化物半导体化合物、具备氧化物半导体化合物的层的半导体元件和层叠体在审

专利信息
申请号: 201780014378.9 申请日: 2017-02-23
公开(公告)号: CN109075205A 公开(公告)日: 2018-12-21
发明(设计)人: 细野秀雄;神谷利夫;云见日出也;金正焕;中村伸宏;渡边晓;宫川直通 申请(专利权)人: 国立大学法人东京工业大学;AGC株式会社
主分类号: H01L29/786 分类号: H01L29/786;H01B1/08;H01B5/14;H01L21/336;H01L51/50
代理公司: 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 代理人: 盛曼;金龙河
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 一种氧化物半导体化合物,其含有镓和氧,光学带隙为3.4eV以上,300K下的通过霍尔(Hall)测定得到的电子的霍尔(Hall)迁移率为3cm2/Vs以上。
搜索关键词: 氧化物半导体 霍尔 半导体元件 光学带隙 层叠体 迁移率
【主权项】:
1.一种氧化物半导体化合物,其含有镓和氧,光学带隙为3.4eV以上,300K下的通过霍尔测定得到的电子的霍尔迁移率为3cm2/Vs以上。
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