[发明专利]基板搬送装置及基板搬送机器人的示教方法

摘要

控制器，使用从第一光传感器及至少一个的第二光传感器中选择的一个光传感器，使基板搬送手往光传感器的光路位于基板载置部的上方且不会与柱部干涉的检测开始位置移动，从检测开始位置使基板搬送手往下方移动至以光传感器检测到物体的检测位置，将基板搬送手位于检测位置时的光传感器距离光路的规定位置基准的高度，作为基板载置部的高度位置加以储存。

主权项

1.一种基板搬送装置，其特征在于，具备：配置在同一圆周上的多个基板支持具；以及基板搬送机器人，具有臂部、设于所述臂部的梢端部的基板搬送手、以及控制所述臂部及所述基板搬送手的动作的控制器；所述基板支持具，具有：有载置基板缘部的朝上的面的基板载置部、与在所述基板载置部的所述圆周的半径方向外侧支持所述基板载置部的柱部；所述基板搬送手，具有：以能从梢端侧插入所述基板支持具的形式所述梢端侧二分为第一端部与第二端部的叶片、检测遮蔽连接所述第一端部与所述第二端部且与所述基板搬送手的轴方向正交的第一光路的物体的第一光传感器、以及检测遮蔽连接所述第一端部与所述第二端部且相对所述第一光路倾斜的第二光路的物体的至少一个的第二光传感器；所述控制器，使用从所述第一光传感器及所述至少一个的第二光传感器中选择的一个光传感器，使所述基板搬送手往所述光传感器的光路位于所述基板载置部的上方且不会与所述柱部干涉的检测开始位置移动，从所述检测开始位置使所述基板搬送手往下方移动至以所述光传感器检测到物体的检测位置，将所述基板搬送手位于所述检测位置时的所述光传感器距离所述光路的规定位置基准的高度，作为所述基板载置部的高度位置加以储存。