[发明专利]激光照射装置以及激光照射方法

摘要

本发明的激光照射装置具备：激光光源，其产生激光；空间光调制器，其具有显示相位图案的显示部；物镜，其将通过空间光调制器出射的激光聚光于对象物；传像光学系统，其将显示部中的激光图像传送至物镜的入射光瞳面；反射光检测器，其对入射于对象物并在与激光入射面相反侧的反射面被反射的激光的反射光进行检测；以及，控制部，该控制部控制显示于显示部的相位图案。当反射光检测器对反射光进行检测时，控制部使反射光像差校正图案显示于显示部，该反射光像差校正图案是对在激光透过具有规定厚度的2倍厚度的对象物的情况下所产生的像差进行校正的相位图案。

主权项

1.一种激光照射装置，其特征在于，将激光照射于规定厚度的对象物，具备：激光光源，其产生所述激光；空间光调制器，其具有显示相位图案的显示部，使由所述激光光源产生的所述激光入射于所述显示部，并将该激光根据所述相位图案来进行调制并从所述显示部出射；物镜，其将由所述空间光调制器出射的所述激光聚光于所述对象物；传像光学系统，其将所述空间光调制器的所述显示部中的所述激光的图像传像至所述物镜的入射光瞳面；反射光检测器，其对入射于所述对象物并在与激光入射面相反侧的相反面被反射的所述激光的反射光进行检测；以及控制部，其至少控制显示于所述显示部的所述相位图案，当用所述反射光检测器对所述反射光进行检测时，所述控制部使反射光像差校正图案显示于所述显示部，该反射光像差校正图案是对在所述激光透过具有所述规定厚度的2倍厚度的所述对象物的情况下所产生的像差进行校正的所述相位图案。