[发明专利]测定装置、观察装置、及测定方法

摘要

本发明涉及一种具备调整样品的观察面相对于与物镜的光轴正交的基准平面的倾斜的构造的测定装置等。该测定装置具备配置于自光源朝向样品的照射光的传播路径上的变更照射光的出射角的扫描仪，且通过一边利用扫描仪变更照射光的出射角，一边将来自样品的反射光的检测信号的信号值与照射光的出射角的信号值建立对应，而获得样品的倾斜信息。

主权项

1.一种测定装置，其特征在于，是具有将照射光导引至样品的光照射区域的中继透镜系统，并测定所述光照射区域相对于与所述中继透镜系统的光轴正交的基准平面的倾斜的测定装置，具备：光源，其输出所述照射光；样品保持器，其在保持所述样品的状态下改变所述光照射区域相对于所述基准平面的倾斜角；所述中继透镜系统，其以与所述样品保持器相对的方式配置；扫描仪，其配置于所述光源与所述中继透镜系统之间的光路上，并使自所述中继透镜系统出射的所述照射光的出射角变化；光检测器，其接收通过所述中继透镜系统及所述扫描仪的来自所述光照射区域的反射光，且输出与所述反射光相应的检测信号；及解析部，其通过将与自所述扫描仪输出的所述照射光的出射角相关的信息和与所述检测信号的信号值相关的信息建立对应，而获得所述样品的所述光照射区域的倾斜信息。