[发明专利]压力式流量控制装置有效
申请号: | 201780015751.2 | 申请日: | 2017-07-25 |
公开(公告)号: | CN109478074B | 公开(公告)日: | 2021-08-24 |
发明(设计)人: | 平田薰;杉田胜幸;池田信一;西野功二 | 申请(专利权)人: | 株式会社富士金 |
主分类号: | G05D7/06 | 分类号: | G05D7/06 |
代理公司: | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 | 代理人: | 刘春成;刘春燕 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种压力式流量控制装置(100),其具备:控制阀(12);压力传感器(P1),其设置于控制阀的下游侧;流孔内置阀(16),其设置于压力传感器的下游侧;以及控制部(5),其连接到控制阀和压力传感器,流孔内置阀具有:阀机构(15),其具有用于进行流路的开闭的阀座体和阀体;驱动机构(18),其驱动阀机构;以及流孔部件(14),其接近于阀机构而设置,并且具备用于检测阀机构的开闭状态的开闭检测机构(20),控制部以从开闭检测机构接收检测信号的方式构成。 | ||
搜索关键词: | 压力 流量 控制 装置 | ||
【主权项】:
1.一种压力式流量控制装置,其特征在于,具备:控制阀;压力传感器,所述压力传感器设置于所述控制阀的下游侧;流孔内置阀,所述流孔内置阀设置于所述压力传感器的下游侧;以及控制部,所述控制部连接到所述控制阀和所述压力传感器,所述压力式流量控制装置以基于所述压力传感器的输出来控制所述控制阀的方式构成,所述流孔内置阀具有:阀机构,所述阀机构具有用于进行所述流路的开闭的阀座体和阀体;驱动机构,所述驱动机构驱动所述阀机构;以及流孔部件,所述流孔部件接近于所述阀机构而设置,具备用于检测所述阀机构的开闭状态的开闭检测机构,所述控制部以从所述开闭检测机构接收检测信号的方式构成。
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