[发明专利]固体激光器装置、固体激光器系统以及曝光装置用激光装置有效
| 申请号： | 201780016378.2 | 申请日： | 2017-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN108780980B | 公开（公告）日： | 2020-12-25 |
| 发明（设计）人： | 小野濑贵士;若林理 | 申请（专利权）人： | 极光先进雷射株式会社 |
| 主分类号： | H01S3/131 | 分类号： | H01S3/131;G02F1/37;H01S3/10 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 固体激光器装置具有：种子激光器，其输出作为CW激光的种子光；光强度可变部，其通过变更种子光的光强度而将种子光脉冲化，并作为种子脉冲光而输出；CW激励激光器，其输出CW激励光；放大器，其基于通过CW激励光的光激励而被增加的放大增益，将种子脉冲光放大，并作为放大光输出；波长转换部，其对放大光进行波长转换，并输出谐波光；以及光强度控制部，其根据外部触发信号的输入对光强度可变部进行控制，光强度控制部在每次外部触发信号输入时，在从外部触发信号输入起经过一定时间之后使光强度可变部输出种子脉冲光，在从种子脉冲光输出之后起至下一个外部触发信号输入为止的期间内使光强度可变部输出抑制放大增益的增加的抑制光。 | ||
| 搜索关键词： | 固体激光器 装置 系统 以及 曝光 激光 | ||
【主权项】：
1.一种固体激光器装置，其具有：种子激光器，其输出作为CW激光的种子光；光强度可变部，其通过变更所述种子光的光强度而将所述种子光脉冲化，并作为种子脉冲光而输出；CW激励激光器，其输出CW激励光；放大器，其基于通过所述CW激励光的光激励而增加后的放大增益将所述种子脉冲光放大，并作为放大光而输出；波长转换部，其对所述放大光进行波长转换，并输出谐波光；以及光强度控制部，其根据外部触发信号的输入而对所述光强度可变部进行控制，所述光强度控制部在每次输入了外部触发信号时，在从外部触发信号的输入起经过一定时间之后使所述光强度可变部输出所述种子脉冲光，在从所述种子脉冲光的输出后起至下一个外部触发信号的输入为止的期间内使所述光强度可变部输出抑制所述放大增益的增加的抑制光。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于极光先进雷射株式会社，未经极光先进雷射株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201780016378.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
