[发明专利]热式质量流量传感器及其制造方法以及热式质量流量计有效
| 申请号： | 201780016648.X | 申请日： | 2017-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN108779996B | 公开（公告）日： | 2020-09-04 |
| 发明（设计）人： | 佐佐木龙;石井守 | 申请（专利权）人： | 日立金属株式会社 |
| 主分类号： | G01F1/684 | 分类号： | G01F1/684;G01F1/69 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在以抑制与高温下的使用相伴随的、传感器线(13a)和传感器线(13b)的包覆层的消失为目的而被封入处于非活性气氛的密闭容器(11)中的热式质量流量传感器(10)中，还具有排气管(16)，该排气管(16)是经由形成于密闭容器(11)的外壁的贯通孔即排气孔(16a)使密闭容器(11)的内部空间与外部气密地连通的管。排气管(16)的与排气孔(16a)相反的一侧的端部通过塑性变形被密封而形成密封部(16b)。由此，能够在通常的大气气氛下形成密闭容器(11)之后，将密闭容器(11)的内部空间气密地封闭。上述密封部(16b)也可以利用焊接进一步密封。这样能够容易且高精度地组装密闭容器(11)，且能够抑制与高温下的使用相伴随的、密闭容器(11)的气密性的下降。 | ||
| 搜索关键词： | 质量 流量传感器 及其 制造 方法 以及 流量计 | ||
【主权项】：
1.一种热式质量流量传感器，其中，该热式质量流量传感器具有：密闭容器；传感器管，其与形成于将所述密闭容器的内部空间划定的外壁的流入口和流出口气密地连通，且收纳于所述密闭容器的所述内部空间；一对传感器线，该一对传感器线卷绕于所述传感器管；包覆层，其至少覆盖所述传感器线的卷绕于所述传感器管的部分；以及密封连接器，其设于所述外壁，使所述一对传感器线的各自的两端与设于所述密闭容器的外部的外部电极电连接，所述密闭容器的所述内部空间密闭为非活性气氛，在该热式质量流量传感器中，该热式质量流量传感器还具有排气管，该排气管是经由形成于所述外壁的贯通孔即排气孔使所述密闭容器的所述内部空间与外部气密地连通的管，所述排气管的与所述排气孔相反的一侧的端部通过塑性变形被密封而形成密封部。
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